Gigaphoton推出hTGM氖气回收系统
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Gigaphoton推出hTGM氖气回收系统
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Gigaphoton开发了名为hTGM的氖气回收系统，用于其氟化氩（ArF）准分子激光器。据Business Wire报道，该方法已实现50%的回收率，并有望通过调整配置大幅提高。该公司声称，单台用于ArF的hTGM每年可减少高达470千吨的氖气消耗。Gigaphoton此前已在KrF激光器上提供氖气回收，现将该能力扩展至ArF激光器。
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Dernière évolution6 octobre 21:20
Gigaphoton dévoile un système de recyclage du néon pour lasers ArF avec un taux de récupération annoncé de 50 %Chronologie des reportages
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6 octobre
- Tom's Hardware 3DGigaphoton dévoile un système de recyclage du néon pour lasers ArF avec un taux de récupération annoncé de 50 %
Gigaphoton a développé hTGM, un système de recyclage du néon pour ses lasers excimères à fluorure d'argon (ArF).
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